A. Treffer

SENTECH Instruments GmbH, Schwarzschildstraße 2,12489 Berlin , Germany

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B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt , St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich , A. Mai , S. Schrader, M. Regehly