Steffen Marschmeyer

IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, IHP - Leibniz Institute for High Performance Microelectronics

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B35 · Talk · 124. Conference (2023)

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Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt, St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich, A. Mai, S. Schrader, M. Regehly