N. Kerwien

Carl Zeiss AG, Corporate Research & Technology, Optics Concepts, Oberkochen

5 Beiträge

H7 · Hauptvortrag · 117. Tagung (2016)

Optical Systems Design for the digital Future

B5 · Vortrag · 107. Tagung (2006)

Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen

T. Schuster, J. Kauffmann, N. Kerwien, H. J. Tiziani, W. Osten, P. Reinig

A19 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Polarisationsmikroskopie im DUV

N. Kerwien, J. Kauffmann, S. Meining, W. Osten, H.J.Tiziani

A20 · Vortrag · 105. Tagung (2004)

Ein tomographisches Verfahren zur Rekonstruktion der volumenaufgelösten Verteilung des Brechungsindextensors.

J. Kauffmann, N. Kerwien, W. Osten, H.J. Tiziani

P59 · Poster · 105. Tagung (2004)

Rigorose Beugungssimulation: Ein Vergleich zwischen RCWA , FDTD und der Finiten Elemente Methode

R. Berger, J. Kauffmann, N. Kerwien, W. Osten, H. J. Tiziani