A16 · Vortrag · 125. Tagung (2024)
Entwicklungen und Herausforderungen in der EUV und X-ray nano metrologie für Lithographische Strukturen
V. Soltwisch, R. Ciesielski, M. Mulazzi, A. Fernandez-Herrero, A. Andrle, N. Abbasirad, V. Truong, L. Lohr, P. Hönicke, M. Kolbe, F. Scholze
P20 · Poster · 124. Tagung (2023)
Präzise optische Konstanten: Die europäische OCDB
V. Soltwisch, R. Ciesielski, Q. Saadeh, N. Abbasirad, M. Kolbe, F. Scholze