S. Burkert*

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A23 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Zerstörungsfreie multimodale Analyse von polymerbasierten Mikro- und Nanostrukturen für die Nanoimprint Lithographie

S. Burkert*, L. Schwörer*, T. Schubert**, J. Grundmann***, D. Stein****, A. Heinrich*