T. Schubert**

1 paper

A23 · Talk · 125. Conference (2024)

Zerstörungsfreie multimodale Analyse von polymerbasierten Mikro- und Nanostrukturen für die Nanoimprint Lithographie

S. Burkert*, L. Schwörer*, T. Schubert**, J. Grundmann***, D. Stein****, A. Heinrich*