P. L. T. M. Frederix

M. E. Müller-Institut, Biozentrum, Universität Basel

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P27 · Poster · 107. Tagung (2006)

Fabry-Perot-Interferometer für die Positionsbestimmung von Mikro-Spiegeln

E. Langenbach, H.-J. Heimbeck, B. W. Hoogenboom, P. L. T. M. Frederix, H. J. Hug , A. Engel