DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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A. Diener

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

6 Beiträge

P4 · Poster · 117. Tagung (2016)

Dimensional optical metrology on deep sub-wavelength nanostructures

B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann, M. Wurm
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P5 · Poster · 115. Tagung (2014)

Anwendung der DUV Scatterometrie für die Rekonstruktion der Absorberstrukturen auf komplexen EUV-Masken

J. Endres, M. Wurm, A. Diener, B. Bodermann
P14 · Poster · 114. Tagung (2013)

Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie

J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann
P34 · Poster · 112. Tagung (2011)

Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung

B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn
P46 · Poster · 107. Tagung (2006)

Kalibrierung der Gitterkonstante ein- und zweidimensionaler Gitter mit optischer Beugung

E. Buhr, W. Michaelis, A. Diener
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P49 · Poster · 107. Tagung (2006)

Quantitative dimensionelle Mikroskopie an Mikro- und Nanostrukturen: Untersuchungen zum Einfluss verschiedener Kantengeometrien

B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann
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