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ISSN 1614-8436
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M. Flemming
M. Flemming
Fraunhofer-Institut Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena
1 Beitrag
P54 · Poster · 107. Tagung (2006)
Rasterkraftmikroskopische Metrologie an optischen Oberflächen
M. Flemming, A. Duparré