C. Laubis

EUV Radiometry, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin

3 Beiträge

B12 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

Blazed XUV Gratings with a Very Low Level of Stray Light

M. Burkhardt, R. Fechner, A. Nickel, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch

P19 · Poster · 115. Tagung (2014)

Streulichtarme holografische Blaze-Gitter für den EUV-Bereich

M. Burkhardt, R. Fechner, D. Flamm, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch

P74 · Poster · 107. Tagung (2006)

Untersuchungen zur Eignung der EUV-Scatterometrie zur quantitativen Charakterisierung periodischer Strukturen am Beispiel einer COG-Photomaske

M. Wurm, B. Bodermann, C. Laubis, F. Scholze