J. Liesener

Zygo Corporation, Laurel Brook Road, Middlefield, Connecticut 06455, USA

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A6 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Interferometrisches Verfahren zur schnellen, flexiblen Vermessung von Präzisionsasphären

E. Garbusi, C. Pruß, J. Liesener, W. Osten