M. Schwab

LIT-TBD / Optical Design, Carl Zeiss SMT AG, Geschäftsbereich Lithographie-Optik/Lithography Optics Division, Oberkochen

2 papers

B7 · Talk · 109. Conference (2008)

Delano-Diagramm, ein unterschätztes Designtool

A8 · Talk · 108. Conference (2007)

InSitu-Aspherometer: Prüf- und Fertigungsverfahrenslösung zur interferometrisch gesteuerten Herstellung großflächiger Hochpräzisionsasphären

F. Weidner, J.-M. Asfour, G. Kocherscheidt, M. Schwab