A. Nickel

Leibniz -Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., Leipzig

3 Beiträge

B12 · Vortrag · 116. Tagung (2015)

Blazed XUV Gratings with a Very Low Level of Stray Light

M. Burkhardt, R. Fechner, A. Nickel, F. Frost, A. Gatto, C. Laubis, F. Scholze, S. Sinzinger, V. Soltwisch

A18 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Deterministische Ionenstrahlkorrektur von Oberflächenformfehlern bis in den sub-mm Ortswellenlängenbereich

T. Hänsel, P. Seidel, A. Nickel, A. Schindler

A20 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Deterministische Formgebung kleinformatiger Präzisionsoptiken mit reaktiven Normaldruck-Plasmajets

G. Böhm, T. Arnold, W. Frank, A. Nickel, A. Schindler