K. Zimmer

Leibniz-Institut fürOberflächenmodifizierung e.V. Permoserstr. 15, D-04318 Leipzig, Germany

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A19 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

One-step fabrication of refractive and diffractive microoptical elements in fused silica with laser etching

K. Zimmer, R. Böhme, A. Schindler, B. Rauschenbach