H. Takino

Nikon Corporation, Japan

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A21 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Sub-Nanometer-RMS Rauheit von Einkorn-diamantgedrehten Metalloberflächen mittels Ionenstrahlglättung

F. Frost, H. Takino, R. Fechner, A. Schindler, N. Ohi, K. Nomura