J. Frühauf

Institut für Mess- und Regelungstechnik, Leibniz Universität Hannover

1 paper

P54 · Poster · 108. Conference (2007)

Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur

M. Rahlves, M. Seifert, T. Fahlbusch, J. Frühauf, E. Reithmeier