Claudia John

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

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A15 · Talk · 109. Conference (2008)

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Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner