Margit Ferstl

Fraunhofer-Institut für Nachrichtentechnik, Heinrich-Hertz-Institut HHI

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A15 · Vortrag · 109. Tagung (2008)

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Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner