A10 · Vortrag · 109. Tagung (2008)
Sichtstrahlkalibrierung für optisch abbildende Systeme
W. Li, T. Bothe, M. Schulte, C. v. Kopylow, N. Köpp, W. Jüptner
A23 · Vortrag · 109. Tagung (2008)
Reflektometrie - ein flexibles und robustes Messverfahren für unterschiedlichste Anwendungen im Mikro- und Makrobereich
C. v. Kopylow, T. Bothe, M. Schulte, W. Li, N. Köpp