M. Ferstl

Fraunhofer-Institut für Nachrichtentechnik, Heinrich-Hertz-Institut,Berlin

1 paper

A15 · Talk · 109. Conference (2008)

Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner