B. Geh

Carl Zeiss SMT AG

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B17 · Vortrag · 109. Tagung (2008)

Neues Zernike-ähnliches Verfahren zur Beschreibung der Abbildungsfehler polarisierender Optiken

M. Totzeck, J. Ruoff, A. Göhnermeier, D. Krähmer, B. Geh