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White light interferometry on large MEMS arrays
C. Skupsch, S. Wolschke, S. Francés, M. Wagner
P14 · Poster · 109. Tagung (2008)
Der Laser-Doppler-Feldsensor - ein bildgebendes Messverfahren für die Mikro- und Nanofluidik
C.Skupsch, A.Voigt, L. Büttner, J. Czarske