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ISSN 1614-8436
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K. Yu
K. Yu
Institut für Technische Optik (ITO), Universität Stuttgart, Germany
1 Beitrag
P44 · Poster · 109. Tagung (2008)
Spin-coating of photoresist on convex lens substrates
R. Reichle, K. Yu, C. Pruss, W. Osten