A17 · Vortrag · 112. Tagung (2011)
Automatisches multiskaliges Messsystem zur Inspektion von mikro-elektro-mechanischen Systemen
W. Lyda, A. Burla, T. Haist, W. Osten
P9 · Poster · 110. Tagung (2009)
Selection of task specific indicator functions in a multiscale measurement system
A. Burla, W. Lyda, T. Haist, W. Osten