Werner Mirandé
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
6 papers
P34 · Poster · 109. Conference (2008)
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Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
A27 · Talk · 106. Conference (2005)
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Comparison of dark field microscopy with alternating grazing incidence illumination and bright field microscopy
A29 · Talk · 106. Conference (2005)
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Comparison of different microscope imaging models for different structure geometries on the basis of rigorous diffraction calculation
P25 · Poster · 106. Conference (2005)
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Evaluation of Scatterometry Tools for Critical Dimension Metrology
P2 · Poster · 105. Conference (2004)
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Einfluss von Polarisation, Einfallswinkel und Materialkonstanten bei der Dunkelfeldmikroskopie mit alternierender Beleuchtung bei streifendem Einfall
P32 · Poster · 105. Conference (2004)
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