P34 · Poster · 112. Conference (2011)
Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung
B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn
A26 · Talk · 111. Conference (2010)
Aufbau eines 193 nm Mikroskops als Strukturbreitenmesssystem für Photomasken
Z. Li, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr