W. Kähler

Carl Zeiss SMT AG, 73446 Oberkochen

1 paper

A7 · Talk · 105. Conference (2004)

Störreflexunterdrückung durch Modulation der Laserwellenlänge bei der interferometrischen Vermessung der Oberflächen von transparenten Planparallelplatten

S. Schulte, W. Kähler, B. Dörband, H. Müller