T. Pﬂüger

IBM Research & Development Böblingen, Böblingen

1 Beitrag

P48 · Poster · 111. Tagung (2010)

Verbesserte Empfindlichkeit eines Photodetektors durch die Einführung resonanter Strukturen im Standard SOI CMOS Prozess

M.Auer, K.-H.Brenner, N.Moll, T.Morf, M.Fertig, T.Stöferle, R.F.Mahrt, J.Weiss, T.Pﬂüger