G. Jäger

Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

3 Beiträge

A16 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

E. Manske, G. Jäger, T. Hausotte

A37 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie

H. Baitinger , E. Manske , R. Mastylo , N. Vorbringer-Dorozhovets , St. Sinzinger , G. Jäger ,J. Bischoff

H2 · Hauptvortrag · 112. Tagung (2011)

Grundlagen laserinterferometrischer Präzisionsmessgeräte