A11 · Vortrag · 112. Tagung (2011)
Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern
V. Ferreras Paz , S. Peterhänsel , K. Frenner , W. Osten , A. Ovsianikov , K. Obata , B. N. Chichkov