J. Finster

Jenoptik Optical Systems GmbH, Jena

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B18 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Über die Verminderung der Depolarisation in einem DUV-Objektiv mit großer numerischer Apertur - eine Fallstudie

St. Müller-Pfeiffer, J. Finster, O. Falkenstörfer