DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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U. Vogler

SUSS MicroOptics SA, Neuchatel, Switzerland

4 Beiträge

A1 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

AMALITH: Advanced Mask Aligner Lithography

A. Bramati, T. Weichelt, L. Stürzebecher, B. Meliorisz, U. Vogler, R. Voelkel
Vortrag PDF
A2 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

MO Exposure Optics: Pushing Limits of Shadow Printing Lithography in Mask Aligners

U. Vogler, A. Bramati, R. Voelkel, M. Hornung
B22 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Optimierung des Beleuchtungssystem eines Mask Aligners (MO Exposure Optics)

U. Vogler , A. Bich , M. Hornung , R. Zoberbier , R. Völkel , St. Sinzinger
P17 · Poster · 112. Tagung (2011)

Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization

U. Vogler , A. Bramati , R. Völkel , M. Hornung , R. Zoberbier , K. Motzek , A. Erdmann , L. Stürzebecher , U. Zeitner