A3 · Vortrag · 116. Tagung (2015)
High-precision optical step detection
J. Schuppich , R. Kampmann , S. Sinzinger , R. Mastylo , E. Manske
A37 · Vortrag · 112. Tagung (2011)
Verbesserung der Kantenfindung mit einem Fokussensor durch Simulationen auf der Grundlage rigoroser Beugungstheorie
H. Baitinger , E. Manske , R. Mastylo , N. Vorbringer-Dorozhovets , St. Sinzinger , G. Jäger ,J. Bischoff