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Proceedings
ISSN 1614-8436
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St. Uske
St. Uske
Technische Universität Ilmenau
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P6 · Poster · 112. Tagung (2011)
Mikrostrukturierung senkrechter Kanalwände mittels Talbot-Effekt
X. Ma, M. Krüger, St. Uske, St. Sinzinger