A1 · Vortrag · 113. Tagung (2012)
AMALITH: Advanced Mask Aligner Lithography
A. Bramati, T. Weichelt, L. Stürzebecher, B. Meliorisz, U. Vogler, R. Voelkel
P17 · Poster · 112. Tagung (2011)
Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization
U. Vogler , A. Bramati , R. Völkel , M. Hornung , R. Zoberbier , K. Motzek , A. Erdmann , L. Stürzebecher , U. Zeitner