H. Kuhn

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig

1 paper

P34 · Poster · 112. Conference (2011)

Erste Messungen mittels eines hochaperturigen 193 nm Mikroskops zur Strukturbreitenmessung

B. Bodermann, Z. Li, D. Bergmann, A. Diener, H. Kuhn