Akiko Kato

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

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A28 · Talk · 113. Conference (2012)

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Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Gross, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm