DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
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J. Endres

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

3 Beiträge

P5 · Poster · 115. Tagung (2014)

Anwendung der DUV Scatterometrie für die Rekonstruktion der Absorberstrukturen auf komplexen EUV-Masken

J. Endres, M. Wurm, A. Diener, B. Bodermann
P14 · Poster · 114. Tagung (2013)

Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie

J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann
A28 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Groß, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm
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