P14 · Poster · 114. Conference (2013)
Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie
J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann
A28 · Talk · 113. Conference (2012)
Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography
B. Bodermann, J. Endres, H. Groß, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm