A. Kato

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

1 paper

A28 · Talk · 113. Conference (2012)

Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Groß, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm