Guenther Seitz

Carl Zeiss SMT GmbH

3 papers

B9 · Talk · 107. Conference (2006)

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Hochaufgelöste interferometrische Absolutmessung rotationssymmetrischer Oberflächen-Fehler

G. Seitz

A10 · Talk · 106. Conference (2005)

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Absolute interferometeric measurement of non rotational symmetric surface errors - a new evaluation concept

G. Seitz

A10 · Talk · 105. Conference (2004)

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EUV-Lithographie - eine Herausforderung für die interferometrische Messtechnik

G. Seitz, S. Schulte, U. Dinger