S. Peters
SENTECH Instruments GmbH, Schwarzschildstraße 2,12489 Berlin , Germany
3 Beiträge
B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)
Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration
P7 · Poster · 114. Tagung (2013)
Bestimmung der Detektionseffizienz von Einzelphotonendetektoren
P8 · Poster · 114. Tagung (2013)