DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE

S. Burger

JCMwave GmbH, Zuse Institute Berlin (ZIB)

3 papers

B39 · Talk · 124. Conference (2023)

Light scattering off semi-infinite structures

L. Zschiedrich, P. Manley, P. Schneider, S. Burger
B9 · Talk · 124. Conference (2023)

Machine learning based optimization with applications in optics design, scatterometry, and experiment control

P.-I. Schneider , I. Sekulic , M. Plock, S. Heidenreich, S. Burger
P14 · Poster · 114. Conference (2013)

Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie

J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann