B9 · Vortrag · 124. Tagung (2023)
Machine learning based optimization with applications in optics design, scatterometry, and experiment control
P.-I. Schneider , I. Sekulic , M. Plock, S. Heidenreich, S. Burger
P14 · Poster · 114. Tagung (2013)
Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie
J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann