DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE

Verena Zürbig

Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF, Fraunhofer Institute for Applied Solid State Physics IAF

1 paper

P50 · Poster · 114. Conference (2013)

Scannend abbildendes Mikrosystem auf Basis durchstimmbarer Elemente aus Aluminiumnitrid Membranen

D. Pätz, S. Sinzinger, S. Leopold, M. Hoffmann, V. Zürbig, O. Ambacher