V. Zürbig

Fraunhofer Institut für Angewandte Festkörperphysik Freiburg

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P50 · Poster · 114. Tagung (2013)

Scannend abbildendes Mikrosystem auf Basis durchstimmbarer Elemente aus Aluminiumnitrid Membranen

D. Pätz, S. Sinzinger, S. Leopold, M. Hoffmann, V. Zürbig, O. Ambacher