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ISSN 1614-8436
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R. Karstens
R. Karstens
Laser-Laboratorium Göttingen e.V.
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B32 · Vortrag · 117. Tagung (2016)
UV-laser fabrication of sub-micron hole arrays in glass by phase mask projection
R. Karstens, A. Prießner, J. Ihlemann