T. Goschurny

Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

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B25 · Vortrag · 118. Tagung (2017)

Puls-Magnetron-Sputtern für optische Präzisionsbeschichtungen auf großen Substraten

D. Glöß, H. Bartzsch, T. Goschurny, A. Drescher, U. Hartung, P. Frach