P42 · Poster · 112. Conference (2011)
Variation des Prestonkoeffizienten in Abhängigkeit der Relativgeschwindigkeit im Polierprozess
A. Kelm, R. Börret
P24 · Poster · 106. Conference (2005)
Development of an automatic adjustment process for an a commercially available Interferometer
R. Börret, E. Krumpen, J. Burger