A38 · Vortrag · 120. Tagung (2019)
Charakterisierung von mikrostrukturiertem Silizium, hergestellt durch Femtosekundenlaserpulse, mittels Ulbrichtkugel und Rasterelektronenmikroskop
D. Rosendahl, S. Paulus, I. Lebershausen, H.-D. Bauer, S. Kontermann